沉积物金属反应物其他反应物沉积温度/℃ 压力/Pa 沉积速率/m·min-1 WF6 250~1200 0.13-101 0.1-50 WCL H, 850~1400 0.13-2.7 0.25-35 VCI 1400-2000 0.13-2.7 2.5-50 W(cO 180-600 0.013-0.13 0.1-1.2 MoF6 700~1200 2.7-46.7 1.2~30 650~1200 0.13-2.7 1.2-20 Mocks 1250-1600 1.3-2.7 2.5~20 Mo(co)6 150~600 0.013~0.13 0.1~1 ReF 400~1400 0.13-13.3 Re ReEls 800~1200 0.13-26.7 l-15 NbCs 800~1200 0.13~101 0.08-25 NbCS 1880 0.13-2.7 2.5 AbBi 5 H2 800-1200 0.13~101 0.08-25 TaCIs 800~1200 0.13~101 0.08~25 TaCIs 2000 0.13-2.7 Z Urls 1200~1600 0.13-2.7 2.5 HI HIs 1400-2000 0.13-2.7 1-2.5 N Ni(cO) 4 150-250 13.3~101 2.5-3.5 Fe(co) 150-450 13.3-101 2.5-50 1000-1200 0.13-2.7 1-2.5 C Cry 1000~1200 0.13-2.7 Tile 100~1400 0.13-2.77