g ⑨专瓶班工大坐 电子探针X射线显微分析(EPMA) 口PA的构造与SEM大体相似，只是增加了接收记录X射线的诺仪。 材料科学与工程学院 。PMA使用的X射线语仪有波仪和能仪两类。 第三章电子探针 王庆平 一、能谱仪 位全为 计整电席☐ 叶我本风一区粉减参 大☐-为 图10-17电子探针结构示意图 图10-18S1(心)检测器探头结构示意图 口以5山)测器为探头的能请仪实际上是一整套复杂的电子学装 SiL能谱仪的优点： 压 口()分析速度快能仪可以同时接受和检测所有不同能量的X射线光 信号， -10 X制线收集立体角大由于能仪中SU)头可以放 10m左右)： 此外 、编来天导 图10-19Si()X射线能谱仪X EPMA p EPMA的构造与SEM大体相似，只是增加了接收记录X射线的谱仪。 p EPMA使用的X射线谱仪有波谱仪和能谱仪两类。 图10-17 电子探针结构示意图 p 能谱仪全称为能量分散谱仪(EDS)． p 目前最常用的是Si(Li)X射线能谱仪，其关键部件是Si(Li)检测器， 即锂漂移硅固态检测器，它实际上是一个以Li为施主杂质的n-i-p型 二极管。 图10-18 Si(Li)检测器探头结构示意图 p 以Si(Li)检测器为探头的能谱仪实际上是一整套复杂的电子学装 置。 图10-19 Si(Li)X射线能谱仪 Si(Li) p (1)分析速度快 能谱仪可以同时接受和检测所有不同能量的X射线光 子信号，故可在几分钟内分析和确定样品中含有的所有元素，带铍窗 口的探测器可探测的元素范围为11Na~92U，20世纪80年代推向市场 的新型窗口材料可使能谱仪能够分析Be以上的轻元素，探测元素的范 围为4Be~92U。 p (2)灵敏度高 X射线收集立体角大。由于能谱仪中Si(Li)探头可以放 在离发射源很近的地方(10㎝左右)，无需经过晶体衍射，信号强度几 乎没有损失，所以灵敏度高(可达104cps/nA，入射电子束单位强度所 产生的X射线计数率)。此外，能谱仪可在低入射电子束流(10-11A)条 件下工作，这有利于提高分析的空间分辨率。 p (3)谱线重复性好。由于能谱仪没有运动部件，稳定性好，且没有聚焦 要求，所以谱线峰值位置的重复性好且不存在失焦问题，适合于比较 粗糙表面的分析工作