53光栅位置检测装置 光栅用于数控机床作为检测装置,已有几十年的历 史,用以测量长度、角度、速度、加速度、振动和爬行 等。它是数控机床闭环系统用得较多的一种检测装置。 531光栅检测的工作原理 P栅距 尤栅移动方向 MWMHulMNMINA 图5-8光栅条纹 标尺光栅2—指示光栅 图59莫尔条纹示意图 光电接收器 光源5.3 光栅位置检测装置 光栅用于数控机床作为检测装置，已有几十年的历 史，用以测量长度、角度、速度、加速度、振动和爬行 等。它是数控机床闭环系统用得较多的一种检测装置。 5.3.1 光栅检测的工作原理