330℃以上，毒膜由呈现典型金刚石结品特征的晶粒所组成。在335℃和290℃沉积的薄膜， 晶粒呈球形，结晶刻面特征已不太明显。此外，从图5可看出，随着沉积温度的降低，晶粒 尺寸随之急副减小。700℃时品粒平均尺寸约5m左右，至380℃时已降到0.74m,而在290℃ 时晶粒大小仅为0.2一0.4m。随着晶粒尺寸的减小，膜的表面粗糙度也就随之降低，至 435℃时实测表面粗糙度RA=55nm,比700℃时小约1个数量级。这种水平的表面粗糙度， 对于红外光学应用来说，已基本上满足要求。图6为低温沉积金刚石薄膜的Raman散射谱， 可以看出在435℃以上，1332cm~'金刚石特征峰在此温度以下，虽欠敏锐但仍可明显识别。 在435℃以，下温度沉积的薄膜，其Raman散射谱均呈现位于1550cm~1的漫散峰，表明除 金刚石相以外，膜中尚存在一定数量的非金刚石结构。在580℃的Raman谱上漫散峰位 (a)700℃，24C4,19%02,24h (b)580'℃，1.2CH4,0.3%0,4Eh (c)435C,5%H,202,24h (d)330℃，5%I,2x0265h .: (a)335℃，5%CH,3%02,48h (f)290'℃，9%CH4,5%0240h 图5低温沉积金刚石裤膜的扫描电镜服片 Fig.5 SEM micrographs of diamond thin films deposited at low temperatures 1723 叨 ℃ 以上 , 薄膜由呈 现典型金 刚石结晶特征的晶粒所组 成 。 在3 5 ℃ 和2 9。℃ 沉积的 薄膜 , 晶粒呈 球形 , 结 晶刻 面 特征已不太 明 显 。 此外 , 从图 5 可 看出 , 随着 沉积温度的降低 , 晶粒 尺寸 随之 急剧 减小 。 70 0 ℃ 时 晶粒平均 尺 寸 约 5声m 左右 , 至 3 80 ℃ 时 已 降到 。 . 7声 m , 而在 2 90 ℃ 时 晶粒大 小仅 为 0 . 2一 。 . 渡召m 。 随着晶粒 尺寸 的减小 , 膜 的表 面粗糙度也 就 随 之 降 低 , 至 4 35 ℃ 时 实测表面粗糙 度 R A = 5 5n m , 比 7 0 ℃ 时 小约 1 个 数量 级 。 这种水平的表 面粗糙 度 , 对于 红外光 学应 用 来说 , 已基本上满 足要 求 。 图 6 为低温沉积 金刚石薄膜 的 R a m a n 散射谱 , 可 以看出在 4 35 ℃ 以上 , 1 3 3 2 c m 一 ’ 金刚 石特 征峰在此温度 以 下 , 虽欠 钦 锐 但仍可 明显 识别 。 在43 5 ℃ 以下温度沉积的 薄膜 , 其 只a m a n 散 射 谱 均 呈现位于 1 5 5 o c 。 一 ` 的 漫散峰 , 表 明 除 金 刚石相 以外 , 膜 中尚存在 一定数 量 的非金刚 石结 构 。 在 5 80 ℃ 的 R a m a n 谱 上 漫 散 峰 位 ( a ) 7 0 0℃ , 2 “ CR 4 , 1 % 0 2 , 24 h ( b ) 弓a o ℃ , 1 . ZCH 4 , 0 . 3 兄 O , 迄C j l ( e ) 4 35 ℃ , 5 外 CH ; , 2 % 0 2 , 24 h 、 户如 ( “ ) 遥3 5℃ , 5 先 CH; , 3 沁 0即 ` 。h ` f ) 一 2 9 0 ’ C , 9 黝 CH 4 , 5 沁0 。 , 4日h 、 图 弓 低温沉 积金刚石薄膜的 扫描 电镜照片 p 1 9 。 弓 s E M m i C r o g r “ P h , o f d i a m o n d t l l i n f i 飞m 。 日e P o s i t e d a t l o w t e m P e r a t u r e s 172