第三章电容式传感器 》利用电容器的原理,将非电量转换成电容量,进而实 现非电量到电量的转化的器件或装置,称为电容式传 感器,它实质上是一个具有可变参数的电容器。 由于材料、工艺,特别是测量电路及半导体集成技术 等方面已达到了相当高的水平,因此寺生电容的影响 得到较好地解决,使电容式传感器的优点得以充分发 挥 它的优点是测量范固大、灵敏度高、结构简单、适应 性强、动态响应肘间短、易实现非接触测量等。 可以广泛的应用在力、压力、压差、振动、位移、厚 度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量之 ht by Dong Chfamtepontdrffuse!