真空工程中更为普遍使用的参数是排气量，该参数的定义是 o=pi= m RT M 单位是Pa·m3/s 体积流量测量点所对应的压力值 体积流量 m 在真空单元中引入流导C,定义为C= ·流导的概念在分析复 △p △P 杂的真空管路系统时非 得出通过长圆管的流导 常重要； πD4p 1.连续流层流 C= 电路中的电导的计算， 128uL 可以通过画出等效线路， p 8μ πRT 2.混合流 C= (1+ 再根据线路求出总流导。 128L PD V2M 3.自由分子流 πRT C- V18 M L ·由各独立流单元串联形成的系统其总流导C,的计算式为 -Σ C 与电路理论相似 ·由各独立流单元并联形成的系统其总流导计算式为 C。=∑ C真空工程中更为普遍使用的参数是排气量，该参数的定义是 M m RT Q p V     在真空单元中引入流导C, 定义为      m p Q C  得出通过长圆管的流导 1.连续流层流 2.混合流 3.自由分子流 C D p L    4 128 ) 2 8 (1 128 4 M RT L p D D p C       L D M RT C 3 18   • 流导的概念在分析复 杂的真空管路系统时非 常重要； •电路中的电导的计算, 可以通过画出等效线路, 再根据线路求出总流导。 1 1 C 0 Ci i   •由各独立流单元并联形成的系统其总流导计算式为 C C i i 0   体积流量测量点所对应的压力值 体积流量 单位是 Pa m /s 3  •由各独立流单元串联形成的系统其总流导C0的计算式为 与电路理论相似