标尺光栅和指示光栅分别安装在机床的移动部件及固 定部件上,两者相互平行,它们之间保持0.05mm或 01mm的间隙。 根据制造方法和光学原理不同,光栅可分: 透射光栅 反射光栅 透射光栅:采用经磨制的光学玻璃或在玻璃表面感光材 料的涂层上刻成光栅线纹。 特点:光源可以采用垂直入射光,光电元件直接接受光 照。因此信号幅值比较大,信噪比好。光电转换器结构简 单,如线性密度200线/mm。缺点:玻璃易破裂,热胀 系数与金属部件不一致,影响测量精度。标尺光栅和指示光栅分别安装在机床的移动部件及固 定部件上，两者相互平行，它们之间保持0.05mm或 0.1mm的间隙。 根据制造方法和光学原理不同，光栅可分: 透射光栅 反射光栅 透射光栅：采用经磨制的光学玻璃或在玻璃表面感光材 料的涂层上刻成光栅线纹。 特点：光源可以采用垂直入射光，光电元件直接接受光 照。因此信号幅值比较大，信噪比好。光电转换器结构简 单， 如 线性密度200线/mm。 缺点：玻璃易破裂，热胀 系数与金属部件不一致，影响测量精度