X射线光电子能谱分析法 Cu L m Cu K X-ray photoelectron spectroscopy 400 300 光电子的能量分布曲线：采用特定元 素某一X光谱线作为入射光，实验测定的待 E 测元素激发出一系列具有不同结合能的电 图 铜的X射线光电子能谱 MoKa线激发 子能谱图，即元素的特征谱峰群； 500 400 谱峰：不同轨道上电子的结合能或电 300 子动能： 200 100 伴峰：X射线特征峰、Auger峰、多重 0 态分裂峰。 银的X射线光电子能谱 MoKa线激发 23:12:02 23:12:02 二、X射线光电子能谱分析法 X-ray photoelectron spectroscopy 光电子的能量分布曲线：采用特定元 素某一X光谱线作为入射光，实验测定的待 测元素激发出一系列具有不同结合能的电 子能谱图，即元素的特征谱峰群； 谱峰：不同轨道上电子的结合能或电 子动能； 伴峰：X射线特征峰、Auger峰、多重 态分裂峰