210光栅传感器 210.1光栅传感器概述 ■用途:精密直线位移、角位移测量,应用甚广 举例:如髙精度数控机床、三坐标轮廓仪、直径测量 仪器。 精度:直线位移测量精度可达0.5μm,转角位移测量 精度可分度±1"(1、3600度)。 组成:一块测量栅,一块指示光栅 结构原理:两栅均有相间条纹,间距相等,两光栅相 对移动一个栅距,莫尔条纹也移动一个条纹间距。 用光电元件接收透过两块光栅的光能量,根据计数器 累计的信号数,就可测得移动长度或移过转角2.10光栅传感器 2.10.1光栅传感器概述 ◼ 用途：精密直线位移、角位移测量，应用甚广 ◼ 举例：如高精度数控机床、三坐标轮廓仪、直径测量 仪器。 ◼ 精度：直线位移测量精度可达0.5μm，转角位移测量 精度可分度±1"(1、3600度)。 ◼ 组成：一块测量栅，一块指示光栅。 ◼ 结构原理：两栅均有相间条纹，间距相等，两光栅相 对移动一个栅距，莫尔条纹也移动一个条纹间距。 用光电元件接收透过两块光栅的光能量，根据计数器 累计的信号数，就可测得移动长度或移过转角