第一部分光电编码器 细莫尔条纹干涉原理 干涉测量原理(光学示忌图) C刻线周期 2222p 通过扫描掩膜,光波的相位变化 Q标尺运动x,光波的相位变化 光电池 是由光线通过线纹衍射后产生的 干涉结果,平面的光波照射到 LED 扫描板上,通过衍射分成1,0, 聚光镜-1光波,它们在相位栅标尺上被 衍射,光强的大部分反射在1, =3C 和-1衍射级次中。这些光波在扫 扫描掩膜」描掩膜光栅上再次相遇,重新衍 指示光射和干涉,此时,主要生成2个 序列波,它们以不同的角度离开 Q=2nXC 扫描掩膜。光电元件将这些光强 标尺数体转变成电信号。细莫尔条纹干涉原理 第一部分 光电编码器 是由光线通过线纹衍射后产生的 干涉结果 ，平面的光波照射到 扫描 板上，通过衍射分成1，0， -1光波，它们在相位栅标尺上被 衍射，光强的大部分反射在1， 和-1衍射级次中。这些光波在扫 描掩膜光栅上再次相遇，重新衍 射和干涉，此时，主要生成2个 序列波，它们以不同的角度离开 扫描掩膜。光电元件将这些光强 转变成电信号