《高新技术物理基础专题实验》教学大纲 一、课程基本信息 1、面向对象：理工科各专业硕士、博士研究生 2、开课院（系）、教研室：理学院物理系物理实验中心 3、学时/学分：60学时/3学分 4、推荐教学参考书： 《近代物理实验方法》（自编） 二、课程的性质和任务 当前科学的发展正在出现一种以新学科的掘起和原有学科之间的相互交叉 渗透为特点的势头，这种趋势要求我们培养的人才应具有扎实的基础和宽广的知 识，能适应开拓性的研究工作。为了顺应科学技术发展的需要，拓宽学生的知识 面，促进宽厚型复合型人才的培养，促进理工结合，促进新兴学科和边缘学科的 发展，特开设“高新技术物理基础专题实验”课程。通过本课程能把近代物理领域 中的一些重要的实验、它们的思想方法、研究手段和一些新的应用技术和重要的 实验技术介绍给理工科各专业的硕士、博士研究生。 三、教学内容和要求 1.微加工原理和技术 在所有对人类发展影响最大最广的新技术和新发明中，要数电子技术的出 现和发展，其中最重要的是半导体晶体管的发明和集成化的发展。这些成果 又推动了微电子技术、光电子技术、微光机电技术、纳光技术及量子光电子 技术的兴起和发展。所有这些新兴学科的工艺基础都离不开微细加工技术。 本专题将实验过程的基本原理与实验技术密切结合，使学生了解和掌握一些 该领域的基本原理和基本实验技能。 专题实验：(1)光刻；(2)电子束蒸发镀膜；(3)射频溅射镀膜；(4)反应离子 刻蚀；（⑤）扫描电子显微镜：(6)扫描隧道显微镜。 2424 《高新技术物理基础专题实验》教学大纲 一、课程基本信息 1、面向对象：理工科各专业硕士、博士研究生 2、开课院（系）、教研室： 理学院 物理系物理实验中心 3、学时/学分：60 学时/3 学分 4、推荐教学参考书： 《近代物理实验方法》（自编） 二、课程的性质和任务 当前科学的发展正在出现一种以新学科的掘起和原有学科之间的相互交叉 渗透为特点的势头，这种趋势要求我们培养的人才应具有扎实的基础和宽广的知 识，能适应开拓性的研究工作。为了顺应科学技术发展的需要，拓宽学生的知识 面，促进宽厚型复合型人才的培养，促进理工结合，促进新兴学科和边缘学科的 发展，特开设“高新技术物理基础专题实验”课程。通过本课程能把近代物理领域 中的一些重要的实验、它们的思想方法、研究手段和一些新的应用技术和重要的 实验技术介绍给理工科各专业的硕士、博士研究生。 三、教学内容和要求 1．微加工原理和技术 在所有对人类发展影响最大最广的新技术和新发明中，要数电子技术的出 现和发展，其中最重要的是半导体晶体管的发明和集成化的发展。这些成果 又推动了微电子技术、光电子技术、微光机电技术、纳光技术及量子光电子 技术的兴起和发展。所有这些新兴学科的工艺基础都离不开微细加工技术。 本专题将实验过程的基本原理与实验技术密切结合，使学生了解和掌握一些 该领域的基本原理和基本实验技能。 专题实验：⑴光刻；⑵电子束蒸发镀膜；⑶射频溅射镀膜；⑷反应离子 刻蚀；⑸扫描电子显微镜;⑹扫描隧道显微镜