绪论 仪器的发展 20世纪70年代，用于成分分析的X射线能谱仪(M.Siegbahn, winner of Nobel prize in1924)和电子能量损失谱仪(Ruthemann in1941- 1942)开始在TEM使用； 20世纪90年代末，M.Haider等成功制造出物镜球差系数校正器 (O.Scherzer于1947年提出球差校正的原理和方法)，校正器的问世使 球差系数从正值可变到负值，提高了电子显微镜的分辨率。 此外，照明亮度高和能量发散小的场发射电子枪的普及、极大改善 电子单色性的能量过滤器的问世、可实现电子显微像和电子衍射花样数 字化的慢扫描CCD和电子成像板的使用、仪器的计算机控制等都成为现 代高性能分析电子显微镜的基本特征。绪 论 仪器的发展 20世纪70年代，用于成分分析的X射线能谱仪（M. Siegbahn, winner of Nobel prize in 1924)和电子能量损失谱仪(Ruthemann in 1941- 1942)开始在TEM使用； 20世纪90年代末，M. Haider等成功制造出物镜球差系数校正器 （O.Scherzer于1947年提出球差校正的原理和方法），校正器的问世使 球差系数从正值可变到负值，提高了电子显微镜的分辨率。 此外，照明亮度高和能量发散小的场发射电子枪的普及、极大改善 电子单色性的能量过滤器的问世、可实现电子显微像和电子衍射花样数 字化的慢扫描CCD和电子成像板的使用 、仪器的计算机控制等都成为现 代高性能分析电子显微镜的基本特征