六、激光干涉传感器的作用是测量长度，其基本原理就是光的干涉原理，测量精度高、分辨力 高。如图所示是迈克尔逊双光束干涉系统，图中S是光源，B是分光镜，M是固定反射镜， M2是可动反射镜，P是观察屏处，试介绍其工作原理。（16分) 来自光源S的光经半反半透分光镜B后分成两路，一路由固定反射镜M1反射，另一路经 可动反射镜M2和B反射，在观察屏P处相遇产生干涉。当M2每移动半个光波波长时，干涉 条纹亮暗变化一次，因此被测长度为x=N/2 式中，x一被测长度； N一干涉条纹亮暗变化次数； 入，一真空中光波波长： n一空气折射率。 662六、激光干涉传感器的作用是测量长度，其基本原理就是光的干涉原理，测量精度高、分辨力 高。如图所示是迈克尔逊双光束干涉系统，图中S是光源,}是分光镜，M，是固定反射镜， M:是可动反射镜，P是观察屏处，试介绍其工作原理。(16分) 来 自光源 S的光经半反半透分光镜 B后分成两路，一路 由固定反射镜 M，反射 ，另一路经 可动反射镜 M2和 B反射 ，在观察屏 P处相遇产生干涉 。当 M:每移动半个光波波 长时，干涉 条纹亮暗变化一次，因此被测长度为 x=N1.a/2}z 式 中，x一被测长度; N一干涉条纹亮暗变化次数; 久。一真空中光波波长; n一空气折射率。 662