导体性质的杂质扩散到高纯度硅片上，然而在掩模上绘好品体管结 构，用照相制版 的方法缩小，将结构显影在硅片表面氧化层，再用光刻法去掉不 需要的部分。 扩散、掩模、照相、光刻…，整个过程叫做平面处理技术，它 标志若硅品体管批量生产的一大飞跃，也仿佛为“仙童”们打开了一 扇奇妙的大门，使他们看到了一个无底的深渊：用这种方法既然能做 一个品体管，为什么不能做它几十个、几百个，乃至成千上万呢？1959 年1月23日，诺依斯在日记里详细地记录了这一闪光的设想， 1959年2月，德克萨斯仪器公司(T)工程师基尔比(.kby) 申请第一个集成电路发明专利的消息传来，诺依斯十分震惊。他当即 召集“八叛逆”商议对策。基尔比在T公司面临的难题，比如在硅 片上进行两次扩散和导线互相连接等等，正是仙童半导体公司的拿手 好戏。诺依斯提出：可以用蒸发沉积金属的方法代替热焊接导线，这 是解决元件相互连接的最好途径。仙童半导体公司开始奋起疾追。 1959年7月30日，他们也向美国专利局申请了专利。为争夺集成电 路的发明权，两家公司开始旷日持久的争执。1966年，基尔比和诺 依斯同时被富兰克林学会授予巴兰丁奖章，基尔比被誉为“第一块集 成电路的发明家”而诺依斯被誉为“提出了适合于工业生产的集成电 路理论”的人。1969年，法院最后的判决下达，也从法律上实际承 认了集成电路是一项同时的发明。 1960年，仙童半导体公司取得进一步的发展和成功。由于发明 导体性质的杂质扩散到高纯度硅片上，然而在掩模上绘好晶体管结 构，用照相制版 的方法缩小，将结构显影在硅片表面氧化层，再用光刻法去掉不 需要的部分。 扩散、掩模、照相、光刻……，整个过程叫做平面处理技术，它 标志着硅晶体管批量生产的一大飞跃，也仿佛为“仙童”们打开了一 扇奇妙的大门，使他们看到了一个无底的深渊：用这种方法既然能做 一个晶体管，为什么不能做它几十个、几百个，乃至成千上万呢？1959 年 1 月 23 日，诺依斯在日记里详细地记录了这一闪光的设想。 1959 年 2 月，德克萨斯仪器公司（TI）工程师基尔比（J.kilby） 申请第一个集成电路发明专利的消息传来，诺依斯十分震惊。他当即 召集“八叛逆”商议对策。基尔比在 TI 公司面临的难题，比如在硅 片上进行两次扩散和导线互相连接等等，正是仙童半导体公司的拿手 好戏。诺依斯提出：可以用蒸发沉积金属的方法代替热焊接导线，这 是解决元件相互连接的最好途径。仙童半导体公司开始奋起疾追。 1959 年 7 月 30 日，他们也向美国专利局申请了专利。为争夺集成电 路的发明权，两家公司开始旷日持久的争执。1966 年，基尔比和诺 依斯同时被富兰克林学会授予巴兰丁奖章，基尔比被誉为“第一块集 成电路的发明家”而诺依斯被誉为“提出了适合于工业生产的集成电 路理论”的人。1969 年，法院最后的判决下达，也从法律上实际承 认了集成电路是一项同时的发明。 1960 年，仙童半导体公司取得进一步的发展和成功。由于发明