薄膜蒸发沉积装置的示意图 性 装置的主要组成:真空环境、蒸发源、衬底 原则上,真空度应越高越好(~10-5Pa)薄膜蒸发沉积装置的示意图 ◆ 装置的主要组成：真空环境、蒸发源、衬底…… ◆ 原则上，真空度应越高越好（10-5Pa）