宫德海基于准LIGA技术的微型齿轮型腔成形工艺研究及模具设计[学位论文]硕士2005 3.姜勇UQS机理及鉴码齿轮集一体化工艺研究[学位论文]硕士2005 4.李雄UⅣ-LIGA技术光刻工艺的研究[学位论文]硕士2004 本文链接:http://d.g.wanfangdata.comcn/periodiCalwxjgjs200202007.aspx 下载时间:2010年2月15日2.宫德海 基于准LIGA技术的微型齿轮型腔成形工艺研究及模具设计[学位论文]硕士 2005 3.姜勇 UQS机理及鉴码齿轮集一体化工艺研究[学位论文]硕士 2005 4.李雄 UV-LIGA技术光刻工艺的研究[学位论文]硕士 2004 本文链接：http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_wxjgjs200202007.aspx 下载时间：2010年2月15日