每个人做好自己的本职工作，从我做起，脚踏实地的实现自己的梦想，唯此，就 是为实现总书记中国梦做贡献。 一、微电子机械系统的应用、发展 1、定义、研究内容；2、分类；3、应用 1、定义、研究内容： a）微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,缩写为 MEMS,美加惯用词) b)微机械(Micromachine,日本惯用词) c)微系统技术(Microsystems Technology,欧洲惯用词) 发展史； 2、微电子机械系统分类 A、常规MEMS研究General MEMS基础研究理论、应用研究，包括传感器、 执行器等。 B、生物MEMS:BioMEMS C、光学MEMS:Optical MEMS D、微流体：Microfluid E、RF MEMS 3、研究内容及应用 A、常规MEMS研究 基础研究理论、应用研究，包括传感器、执行器等。 例如：微尺度效应、多能域耦合效应、微尺度下的动力学等。 B、生物MEMS:bioMEMS C、光学MEMS:Optical MEMS D、微流体：Microfluid 国内的主要研究现状及成果 二、研究内容 介绍本人的研究成果，让同学们对科研有身临其境的感性认识。培养同学 的科研兴趣。 ●生物MEMS:BioMEMS ·光学MEMS:Optical MEMS每个人做好自己的本职工作，从我做起，脚踏实地的实现自己的梦想，唯此，就 是为实现总书记中国梦做贡献。 一、微电子机械系统的应用、发展 1、定义、研究内容；2、分类；3、应用 1、定义、研究内容； a) 微机电系统 (Micro Electro-Mechanical Systems , 缩写为 MEMS ,美加惯用词) b) 微机械(Micromachine ,日本惯用词) c) 微系统技术(Microsystems Technology ,欧洲惯用词) 发展史； 2、微电子机械系统分类 A、常规 MEMS 研究 General MEMS 基础研究理论、应用研究，包括传感器、 执行器等。 Ｂ、生物 MEMS： BioMEMS Ｃ、光学 MEMS：Optical MEMS Ｄ、微流体：Microfluid E、RF MEMS 3、研究内容及应用 Ａ、常规 MEMS 研究 基础研究理论、应用研究，包括传感器、执行器等。 例如：微尺度效应、多能域耦合效应、微尺度下的动力学等。 Ｂ、生物 MEMS：bioMEMS Ｃ、光学 MEMS：Optical MEMS Ｄ、微流体：Microfluid 国内的主要研究现状及成果 二、研究内容 介绍本人的研究成果，让同学们对科研有身临其境的感性认识。培养同学 的科研兴趣。  生物 MEMS： BioMEMS  光学 MEMS：Optical MEMS