3.051/BE340 3.原子力显微镜(或表面显微镜):是一种能探测微小探针和表面分子间相互作用力的成像方法 He-Ne激光 镀铜的)硅,氮化硅,氧化硅 位置敏 感性光 悬臂:弹性系数k0.1-1N/m 探测器 原子硅,氮化 硅,碳探针 压电传感器 扫描范围:1×1m2至250×250um2 压控样品台 轴测量范围:8um 力范围:1013-10N 分子间位势曲线 U(r 短程:离子离 子间斥力 生的力 △U 长程(吸引力):范德华力,氢键 静电力,偶极-偶极3 3.051/BE.340 3. 原子力显微镜（或表面显微镜）：是一种能探测微小探针和表面分子间相互作用力的成像方法 位置敏 感性光 探测器 He-Ne 激光 原子硅，氮化 硅，碳探针 (镀铜的)硅，氮化硅，氧化硅 悬臂；弹性系数 k~0.1-1N/m 样品表面 压电传感器 扫描范围：1×1nm2 至 250×250um2 z-轴测量范围：8um 力范围：10-13-10-6N 压控样品台 分子间位势曲线 短程：离子-离 子间斥力 产生的力： 长程（吸引力)：范德华力，氢键， 静电力，偶极-偶极，…