表5-1扫描电子显微镜的分辨率和景深 (发散角：B=1X103rad) 景深F;(μm) 放大倍率M 分辨率d,(um) 扫描电子显微镜 光学显微镜 20 5 5000 5 100 1 1000 2 1000 0.1 100 0.7 5000 0.02 20 10000 0.01 10 二 从表中可知，扫描电子显微镜的景深比光学显微镜大得多， 所以它特别适用于粗糙表面的观察和分析。放大倍率M 分辨率d0（μm） 景深Fƒ（μm） 扫描电子显微镜 光学显微镜 20 100 1000 5000 10000 5 1 0.1 0.02 0.01 5000 1000 100 20 10 5 2 0.7 — — 表5-1 扫描电子显微镜的分辨率和景深 （发散角：β = 1×10-3 rad） 从表中可知，扫描电子显微镜的景深比光学显微镜大得多， 所以它特别适用于粗糙表面的观察和分析