合计 54 0 0 18 0 54 八、考核方式 期末成绩占总评成绩的70%，平时考核占总评成绩的30%。 1.平时考核：作业+考勤； 2期末考试：闭卷笔试，考试时间：120分钟：考试内容：掌握部分80%，熟悉、了解部分各10%。 期末成绩占总评成绩的70%，平时考核占总评成绩的30%。 九、推荐教材和教学参考书 教材： 邱成军、曹姗姗、卜丹编著.《微机电系统(MEMS)工艺基础与应用》，：哈尔滨工业大学出版社，2016年2月 参考书： SergeyEdwardLyshevski,MEMS_Nano and Microelectromechanical Systems,CRC Press,London, 2001 Nadim Maluf and Kirt Williams,An Introduction to MEMS Engineering,Artech House-2nd Edition,2004 莫锦秋，梁庆华，汪国宝，王石刚编著.《微机电系统设计与制造》化学工业出版社，2004年3月 刘广玉，樊尚春，周浩敏.《微机械电子系统其应用》，北京航空航天大学出版社2003年2月 王喆垚，《微系统设计与制造》，清华大学出版社，2008年 徐泰然（著），王小浩等（译），周兆英等（较），《MEMS和微系统-设计与制造》，机械工业出版社2004年1月 田文超，《微机电系统(EMS)原理、设计和分析》西安电子科技大学出版社，2009年6月 孙以材，庞冬青，《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》，治金工业出版社，2009年3月 大纲制定人：张培玉 大纲审定人：向兵 制定日期：2018-2-10合计 54 0 0 18 0 54 八、考核方式 期末成绩占总评成绩的70%，平时考核占总评成绩的30%。 1.平时考核：作业＋考勤； 2.期末考试：闭卷笔试，考试时间：120分钟；考试内容：掌握部分80%，熟悉、了解部分各10%。 期末成绩占总评成绩的70%，平时考核占总评成绩的30%。 九、推荐教材和教学参考书 教 材： 邱成军、曹姗姗、卜丹 编著. 《微机电系统（MEMS）工艺基础与应用》，:哈尔滨工业大学出版社，2016年2月 参考书： SergeyEdwardLyshevski, MEMS_Nano and Microelectromechanical Systems, CRC Press,London, 2001 Nadim Maluf and Kirt Williams, An Introduction to MEMS Engineering，Artech House-2nd Edition, 2004 莫锦秋，梁庆华，汪国宝，王石刚 编著.《微机电系统设计与制造》 化学工业出版社，2004年3月 刘广玉，樊尚春，周浩敏.《微机械电子系统其应用》.北京航空航天大学出版社 2003年2月 王喆垚，《微系统设计与制造》，清华大学出版社，2008年 徐泰然（著），王小浩等（译），周兆英等（较）.《MEMS和微系统-设计与制造》.机械工业出版社 2004年1月 田文超，《微机电系统(MEMS)原理、设计和分析》西安电子科技大学出版社，2009年6月 孙以材，庞冬青，《微电子机械加工系统（MEMS）技术基础》，冶金工业出版社，2009年3月 大纲制定人：张培玉 大纲审定人：向兵 制定日期：2018-2-10