第三章真空状态下的气体流动 气体流动过程的基本物理量 体积流速 2.流量 3.流阻后流导 真空条件下气流的基本状态和判据 1.湍流 2.粘滯流 3.分子流 三.流导的计算 粘滯流状态的流导 2.分子流状态的流导 四.流阻对抽速的影响 第四章用于超高真空系统的材料和部件 材料选择的基本考虑 气体在固体中的溶解 三.渗透 四.出气 五.表面蒸发 六.超高真空系统中常用的材料 七.不宜用于超高真空系统中的材料 八.真空卫生 九.超高真空系统的部件 第五章真空的测量 绝对真空规 相对真空规 1.热导真空规 2.电离真空规 第六章残气成分分析和真空捡漏技术 残气成分分析 真空捡漏技术第三章 真空状态下的气体流动 一．气体流动过程的基本物理量 1． 体积流速 2． 流量 3． 流阻后流导 二．真空条件下气流的基本状态和判据 1． 湍流 2． 粘滯流 3． 分子流 三．流导的计算 1． 粘滯流状态的流导 2． 分子流状态的流导 四．流阻对抽速的影响 第四章 用于超高真空系统的材料和部件 一．材料选择的基本考虑 二．气体在固体中的溶解 三．渗透 四．出气 五．表面蒸发 六．超高真空系统中常用的材料 七．不宜用于超高真空系统中的材料 八．真空卫生 九．超高真空系统的部件 第五章 真空的测量 一．绝对真空规 二．相对真空规 1． 热导真空规 2． 电离真空规 第六章 残气成分分析和真空捡漏技术 一．残气成分分析 二．真空捡漏技术