共同点 (1) 属原子发射光谱的范畴： (2)涉及到元素内层电子； (3) 以X-射线为激发源； (4) 可用于固体表层或薄层分析 20 100 90 80 70 6050 4030 20 Ni Ka Co Ka NiK Mo Ka Mo Ka 8 1030 E/ev 图 种高温合金的X射线荧光光谱 图 月球土壤的X射线光电子能谱 23:11:14 23:11:14 共同点 (1) 属原子发射光谱的范畴； (2) 涉及到元素内层电子； (3) 以X-射线为激发源； (4) 可用于固体表层或薄层分析