忘電子工掌出社 224压阻式加速度传感器 它的悬臂梁直接用单晶硅制成,四个扩散电阻 扩散在其根部两面。 扩散电阻 基座 质量块 应变梁2.2.4 压阻式加速度传感器 ⚫ 它的悬臂梁直接用单晶硅制成，四个扩散电阻 扩散在其根部两面 。 扩散电阻 质量块 基座 应变梁 a 返 回 上一页 下一页