提要 薄膜图形化的光刻技术 ◆光刻使用的等烹子体刻蚀技术 ◆等离子体刻蚀机制 ◆未来的纳米光刻技术提 要 ◆ 薄膜图形化的光刻技术 ◆ 光刻使用的等离子体刻蚀技术 ◆ 等离子体刻蚀机制 ◆ 未来的纳米光刻技术