学生自主选题，教师审核：学生动手实验，教师辅助指导。 5.教学评价 课前自主选题预案，课后完整实验报告。 实验项目19：等离子体参量的静电探针测量 1,教学目标 (1)了解等离子体诊断在等离子体研究中的作用 (2)熟悉等离子体诊断的静电单探针法： (3)掌捉探针法诊断Ar气体放电等离子体参量。 2.教学重难点 静电单探针的正确调节使用与数据处理。 3.教学内容 用单探针法诊断电容耦合放电Ar等离子体、电子回旋共振放电Ar等离子体的等离子 体参数 4.教学方法 学生自主选题，教师审核：学生动手实验，教师辅助指导。 5.教学评价 课前自主选题预案，课后完整实验报告。 实验项目20：等离子体参量的发射光谱测量 1.教学目标 (1)了解发射光谱在低温等离子体诊断中的作用，掌握低温等离子体发射光谱诊断 技术： (2)学习使用光纤光谱仪测量Ar、碳氟放电等离子体的特性。 2.教学重难点 等离子体发射光谱仪的使用与数据处理。 3.教学内容 采用光纤光谱仪测量加、碳氟气体的容性耦合放电等离子体发射光谱，通过光谱识 别放电等离子体中的基团，测量基团的相对浓度。 4.教学方法 学生自主选趣，教师审核：学生动手实验，教师辅助指导。 5.教学评价 课前自主选题预案，课后完整实验报告。 10 10 学生自主选题，教师审核；学生动手实验，教师辅助指导。 5.教学评价 课前自主选题预案，课后完整实验报告。 实验项目 19：等离子体参量的静电探针测量 1.教学目标 （1）了解等离子体诊断在等离子体研究中的作用； （2）熟悉等离子体诊断的静电单探针法； （3）掌握探针法诊断 Ar 气体放电等离子体参量。 2.教学重难点 静电单探针的正确调节使用与数据处理。 3.教学内容 用单探针法诊断电容耦合放电 Ar 等离子体、电子回旋共振放电 Ar 等离子体的等离子 体参数。 4.教学方法 学生自主选题，教师审核；学生动手实验，教师辅助指导。 5.教学评价 课前自主选题预案，课后完整实验报告。 实验项目 20：等离子体参量的发射光谱测量 1.教学目标 （1）了解发射光谱在低温等离子体诊断中的作用，掌握低温等离子体发射光谱诊断 技术； （2）学习使用光纤光谱仪测量 Ar、碳氟放电等离子体的特性。 2.教学重难点 等离子体发射光谱仪的使用与数据处理。 3.教学内容 采用光纤光谱仪测量 Ar、碳氟气体的容性耦合放电等离子体发射光谱，通过光谱识 别放电等离子体中的基团，测量基团的相对浓度。 4.教学方法 学生自主选题，教师审核；学生动手实验，教师辅助指导。 5.教学评价 课前自主选题预案，课后完整实验报告