第六章 位置检测装置 6.1概述 6.2 光电编码器 6.3 光栅尺 6.4 感应同步器 6.5 旋转变压器 6.6 磁栅 6.7 激光干涉位置检测装置 6.8 思考题与习题 第六章 位置检测装置 6.1 概述 6.2 光电编码器 6.3 光栅尺 6.4 感应同步器 6.5 旋转变压器 6.6 磁栅 6.7 激光干涉位置检测装置 6.8 思考题与习题