2.根据真空程度分类 粗真空 p>3kPa(或p>25torr) 真空成形及许多常见的工业应用 于钢铁除气、真空注塑、真空熔 中真空 0.10Pa<p<3000Pa(103torr<p<25torr) 解等操作，真空粉末绝热也是在这 段区域的低压端部分 真空镀膜、真空热处理及真空钎 高真空 0.1mPa<p<100mPa(106torr<p<103torr) 焊和粒子加速器中，真空多层绝热 也在此段范围内工作 超高真空 0.1μPa<p<100μPa(或109torr<p<10-6torr) 环境模拟舱及半导体材料的表面 研究 极高真空 p<100n Pa(p<10-9torr)2. 根据真空程度分类 粗真空 p>3kPa(或p>25torr） 真空成形及许多常见的工业应用 中真空 0.10Pa<p<3000Pa(或10-3 torr<p<25torr) 于钢铁除气、真空注塑、真空熔 解等操作,真空粉末绝热也是在这 段区域的低压端部分 高真空 0.1mPa<p<100mPa(或10-6 torr<p<10-3 torr) 真空镀膜、真空热处理及真空钎 焊和粒子加速器中, 真空多层绝热 也在此段范围内工作 超高真空 0.1μPa<p<100μPa(或10-9 torr<p<10-6 torr) 环境模拟舱及半导体材料的表面 研究 极高真空 p<100n Pa(或p<10-9 torr)