突破纳米极限的电子显微镜 >透射式电子显微镜的分辨率已达到分辨单个原子的水平 >为了观察凸凹不平的大块试样，扫描电子显微镜应运而生，已 达nm分辨 >微区电子衍射分析， 给出晶体结构数据；配上X射线谱仪及电 子能量谱仪后，还能进行小到几纳米范围的化学成分分析突破纳米极限的电子显微镜 透射式电子显微镜的分辨率已达到分辨单个原子的水平 为了观察凸凹不平的大块试样，扫描电子显微镜应运而生，已 达nm分辨 微区电子衍射分析，给出晶体结构数据；配上X射线谱仪及电 子能量谱仪后，还能进行小到几纳米范围的化学成分分析