体光学昰体与激光器性能参数的关联性,掌握以过氧化物为代表 的高熔点激光晶体生长工艺、制备技术及制造裝备集成技术;研 究晶体加工表面损伤机理、表面完整性加工新工艺、控制技术以 及加工技术;发展激光晶体光学晶体高效低损伤超精密磨削、抛 光等装备集成技术 考核指标∶研发高熔点速氧化物激光晶体制备工艺与装备 支持最高可生长晶体熔点不低于2400°,可生长激光晶体尺寸大 于30mm×3omm;研发激光晶体光学晶体加工工艺与装备,加工 粗糙度Ra≤lnm、面型精度pvs6。 实施年限:5年 拟支持项目数:1-2项 23制造用工业化皮秒飞秒激光器技术重大共性关键技术类) 研究内容:针对精细增材制造与激光制造需求,硏究髙重复 频率皮秒/飞秒激光的产生、放大、传输、操控等技术,探索激光 时间、空间分布变换等关键物理机制和过程;硏发关键功能器件 开展激光振荡输出、功率提升、光朿质量控制、频率变换等关键— 11 — 体/光学晶体与激光器性能参数的关联性，掌握以过氧化物为代表 的高熔点激光晶体生长工艺、制备技术及制造装备集成技术；研 究晶体加工表面损伤机理、表面完整性加工新工艺、控制技术以 及加工技术；发展激光晶体/光学晶体高效低损伤超精密磨削、抛 光等装备集成技术。 考核指标：研发高熔点过氧化物激光晶体制备工艺与装备， 支持最高可生长晶体熔点不低于 2400°，可生长激光晶体尺寸大 于 30mm×30mm；研发激光晶体/光学晶体加工工艺与装备，加工 粗糙度 Ra≤1nm、面型精度 pv≤λ/6。 实施年限：5 年 拟支持项目数：1-2 项 2.3 制造用工业化皮秒/飞秒激光器技术（重大共性关键技术类） 研究内容：针对精细增材制造与激光制造需求，研究高重复 频率皮秒/飞秒激光的产生、放大、传输、操控等技术，探索激光 时间、空间分布变换等关键物理机制和过程；研发关键功能器件， 开展激光振荡输出、功率提升、光束质量控制、频率变换等关键