UESTC 绪论 §0.前言 §1.IC的分类 §2.描述IC工艺技术水平的五个技术指标 §3.微电子科学技术的发展历史 s4.微电子发展的规律 §5.半导体IC技术发展趋势 §6.我国微电子发展概况5 绪 论 § 0. 前言 § 1. IC的分类 § 2. 描述IC工艺技术水平的五个技术指标 § 3. 微电子科学技术的发展历史 § 4. 微电子发展的规律 § 5. 半导体IC技术发展趋势 § 6. 我国微电子发展概况