开发满足国家重大战略需求、具有市场竞争力的关键产品, 批量进入生产线,提升市场自给率;以承担重大专项为契机, 形成批自主知识产权核心技术,扶植起一批电子专用设备 仪器重点企业 二)发展目标 1、经济指标 十二五”时期,我国电子专用设备产业将实现17%的 年均增长速度,其中骨干企业年均增长20%,到2015年实 现销售收入400亿元;电子仪器产业年均增长速度达15%, 到2015年实现销售收入达到1800亿元 2、创新指标 12英寸65纳米集成电路制造装备实现产业化,研发成 功45纳米32纳米制造裝装备整机产品并进入生产线应用。在 若干技术领域形成具有特色的创新技术和创新产品,大幅提 升创新实力和差异化竞争能力。研发出8-10种前道核心装 备、12-15种先进封装关键设备并形成批量生产能力。 缩小我国集成电路设备、工艺技术水平与当时国际先进 水平的差距,除光刻机外基本缩小到1代甚至基本同步;晶 硅太阳能电池设备达到国际先进水平;表面贴装设备除自动 贴片机外达到国际先进水平;集成电路后封装设备、液晶显 示器件后工序设备、发光二极管(LED)设备(除金属有机 化学气相沉积设备外)片式元件设备、净化设备、环境试8 开发满足国家重大战略需求、具有市场竞争力的关键产品， 批量进入生产线，提升市场自给率；以承担重大专项为契机， 形成一批自主知识产权核心技术，扶植起一批电子专用设备 仪器重点企业。 （二）发展目标 1、经济指标 “十二五”时期，我国电子专用设备产业将实现 17%的 年均增长速度，其中骨干企业年均增长 20%，到 2015 年实 现销售收入 400 亿元；电子仪器产业年均增长速度达 15%， 到 2015 年实现销售收入达到 1800 亿元。 2、创新指标 12 英寸 65 纳米集成电路制造装备实现产业化，研发成 功 45 纳米-32 纳米制造装备整机产品并进入生产线应用。在 若干技术领域形成具有特色的创新技术和创新产品，大幅提 升创新实力和差异化竞争能力。研发出 8-10 种前道核心装 备、12-15 种先进封装关键设备并形成批量生产能力。 缩小我国集成电路设备、工艺技术水平与当时国际先进 水平的差距，除光刻机外基本缩小到 1 代甚至基本同步；晶 硅太阳能电池设备达到国际先进水平；表面贴装设备除自动 贴片机外达到国际先进水平；集成电路后封装设备、液晶显 示器件后工序设备、发光二极管（LED）设备（除金属有机 化学气相沉积设备外）、片式元件设备、净化设备、环境试