第四章精密机械系统的设计 测控仪器中,精密机械系统的设计起着十分重要的作用:对仪器各部分 起支撑作用,保证完成各种复杂的测量工作,以获取被测量的各种 信息,对保证测量精度,定位精度和运动精度起着关键作用 对精密杋械系统的精度要求:(包括基座、支撑件、导轨、测量头架、 尾架、司服机械和读数机构) 基座变形控制在亚微米量级; 工作台的定位传动精度要求达到0,1um 导轨的直线度要求达到0.1um/m 主轴的回转精度要求达到001um 功能要求:对运动部分进行实时监测和控制,对点、线和空间曲面进行 检测、自动采集和处理数据。 为了达到上述要求,不仅要提高机构本身的精度和功能,必须与计算机、 光学电气、液压等技术相结合,达到高精度、高效率和多种功能的 要求 本章重点:第四章 精密机械系统的设计 测控仪器中，精密机械系统的设计起着十分重要的作用：对仪器各部分 起支撑作用，保证完成各种复杂的测量工作，以获取被测量的各种 信息，对保证测量精度，定位精度和运动精度起着关键作用。 对精密机械系统的精度要求：（包括基座、支撑件、导轨、测量头架、 尾架、司服机械和读数机构） 基座变形控制在亚微米量级； 工作台的定位传动精度要求达到0.1um 导轨的直线度要求达到0.1um/m 主轴的回转精度要求达到0.01um 功能要求：对运动部分进行实时监测和控制，对点、线和空间曲面进行 检测、自动采集和处理数据。 为了达到上述要求，不仅要提高机构本身的精度和功能，必须与计算机、 光学电气、液压等技术相结合，达到高精度、高效率和多种功能的 要求。 本章重点：