点击下载:北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第八讲 薄膜材料的图形化 Patterning of thin films
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提要 薄膜图形化的光刻技术 ◆光刻使用的等烹子体刻蚀技术 ◆等离子体刻蚀机制 ◆未来的纳米光刻技术提 要 ◆ 薄膜图形化的光刻技术 ◆ 光刻使用的等离子体刻蚀技术 ◆ 等离子体刻蚀机制 ◆ 未来的纳米光刻技术
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点击下载:北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第八讲 薄膜材料的图形化 Patterning of thin films
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