上游文通大学 SHANGHAI IIAD TONG UNIVERSITY Page.7 传感器的一般组成 被测量 输出量 敏感元件 转换元件 转换电路 → Encapsulation lp-chip bo Wire bond Cap Package substrate CS1 <CS2 Printed circut board Fixed plates 举例：MEMS加速度传感器ADXL203的结构原理Page . 7 传感器的一般组成 敏感元件 转换元件 转换电路 被测量 输出量 举例：MEMS加速度传感器ADXL203的结构原理