磁敏金属材料 2.各向异性磁阻效应 为了增大薄膜△p/p，可采用提高蒸发时的真空度、采用合理的退 火工艺（退火温度、气氛、时间等）等方法 8 50nm 80 0.8 △P 60 -0.6 3 s_0I/d 40 20nm 20 0.2 10-710-6 10-5104 2 3 4 真空度(Pa) 退火时间(h) 电子科技大学敏感材料与传感器课程组 制为了增大薄膜∆ρ/ρ ，可采用提高蒸发时的真空度、采用合理的退 火工艺（退火温度、气氛、时间等）等方法 1 0  7 1 0  6 1 0  5 1 0  4 4 3 2 磁 阻 响 应 率 /  ( % ) 5 0 n m 2 0 n m 真 空 度 （ P a） 0 1 2 3 4 退 火 时 间 （ h ）    0 .8 0 .6 0 .4 0 .2 0 8 0 6 0 4 0 2 0 / 1 0  3 Ω m / 1 0  1 Ω m 一 、磁敏金属材料 2. 各向异性磁阻效应