前言 先进制造技术是当前世界各国发展国民经济的主攻方向和战略决策，同时又是一个国家独 立自主、繁荣昌盛、经济上持续稳定发展、科学上保持先进的长远大计。精密加工和超精密加 工技术是先进制造技术中最具有实质性的重要组成部分，它是先进制造技术的基础和关键，是 一个国家制造工业水平的重要标志之一。 精密加工和超精密加工从概念上来说具有相对性，它们代表了加工精度发展的不同阶段， 由于生产技术的不断发展，划分的界限将随着历史进程而逐渐向前推移，过去的精密加工对今 天来说已是一般加工，因此，其划分界限是相对的，并且在具体数值上至今没有准确定义。当 前，精密加工是指加工精度为1~0.I4m、表面粗度为R0.1~0.01m的加工技术，超精密 加工是指加工误差小于0.01um,表面粗度小于R0.025um的加工技术，又称之为亚微米级 加工。现在，超精密加工已进入纳米级，称之为纳米加工，并出现了相应的纳米技术。有时又 统称为微米/纳米加工。从精密加工和超精密加工范来看，它应该包括微细加工和超微细加 工、光整加工和精整加工等加工技术。 国外，精密加工和超精密加工技术的发展是从7年代初期开始的，主要集中在美、日、 英等国家，在8年代中期取得了举世嘴目的成果，主要表现在机床、集成电路、仪器仪表和 家用电器等诸方面，出现了美国加利福尼亚大学Lawrence Livemore实验室、英国Cranfield大学 精密工程研究所(CUPE)、日本精密工学会等一些著名研究机构和学术团体。我国的精密加工 和超精密加工技术在7年代后期有了长足进步，80年代中期结合航天、航空工业，电子工业 等需求，出现了一些具有世界水平的超精密机床和部件、集成电路制造设备。很多单位，如哈 尔滨工业大学、清华大学、国防科技大学、航空工业总公司33研究所、中国科学院长春光学 精密机械研究所等，都在进行这一领域的研究。 国内，在精密加工和超精密加工技术的发展过程中，广大从事精密工程的技术人员和高等 工科学校的教师和学生迫切需要一本关于精密和超精密加工的工具书，作为科研和教学工作的 参考。而在1991年由机械工业出版社出版的《机械加工工艺手册》（孟少农主编）中，只有专门 一章论述精密加工及超精密加工。此后，1997年出版的《机械工程手册》（何光远主编）中，没 有单独立章，而是分散在各有关章节内容中。因此，出版一本专门的《精密加工技术实用手册》 是十分必要的。本书的出版将是我国第一部专门的精密加工技术手册。 本手册从1995年开始酥酿，1996年9月确定编写人员，历经三年多才得以完成。全书共 分5篇，它们是：精密切削磨削加工及其机床、精密特种加工、微细加工与微型机械、精密测 量和质量保证、典型精密元件加工。手册在编写过程中，力求贯彻“准确性、先进性、实用 性”的编写原则，使其具有如下特点： 1)内容涵盖面涉及精密加工、超精密加工的各个方面，包括微细加工、纳米加工、微型 机械、微型机械系统等。 2)强调了实用性，手册作为工具书，贵在实用，应有较丰富的资料，以便广大工程技术 人员参考。 3)精密加工和超精密加工正处于不断发展中，近年来，在超精密磨削、磨料加工、精密