Generated by Foxit PDF Creator Foxit Soft ttp//www.foxitsoftware.comForevaluation 第二章集成电路制作工艺 2.1.1集成电路加工的基本操作 2.1.2MOS结构和分类 22.1N阱CMOS工艺 2.2.2深亚微米CMOS工艺 23.1 CMOS IC中的寄生效应 2.3.2SOⅠL艺 233CMOS版图设计规则2 第二章 集成电路制作工艺  2.1.1 集成电路加工的基本操作  2.1.2 MOS结构和分类  2.2.1 N阱CMOS工艺  2.2.2 深亚微米CMOS工艺  2.3.1 CMOS IC中的寄生效应  2.3.2 SOI工艺  2.3.3 CMOS版图设计规则 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only