3.1.1金属氧化物半导体传感器 4.金属氧化物半导体传感器的结构 (2)典型结构 在陶瓷管上覆盖着敏感材料SnO,薄膜,电加热丝穿过管心,电接触端设在两头, 形成直径1c的独立封装传感器。图3.2和图3.3分别给出其结构图和实物图。 导线 导线 电极 导线 电极 加热器 结型锡氧化物 园瓷管 导线 图3.2典型的锡氧化物传感器 图3.3 Warwick电子鼻3.1.1 金属氧化物半导体传感器 4.金属氧化物半导体传感器的结构 (2)典型结构 在陶瓷管上覆盖着敏感材料SnO2薄膜,电加热丝穿过管心,电接触端设在两头, 形成直径1cm的独立封装传感器。图3.2和图3.3分别给出其结构图和实物图