-32 北京科技大学学报 2000年第1期 金刚石晶粒细密均匀，未见C0球扩散出来：酸 浸试样有C0扩散出来，经能谱成分分析也证明 了这点，图4是沉积温度900℃下渗硼与酸没 试样表面Raman谱.由图可看出：渗硼试样金刚 石峰锐利，几乎没有非金刚石碳峰，而酸没试样 出现非金刚石碳峰：此外滲硼试样金刚石峰位 于1335.35cm'(图4a),而酸浸试样金刚石碳 峰位于1338.93cm(图4(b)小：表明渗硼试样应 力小于酸浸试样. 图1YG,刀片试样经1000℃×4h渗罐后横断面组织形赖 Fig.1 Cross-section of YG.insert pretreated by boronizing at1000℃×4h 别为15.6%.15.39%，15.6%，15.51%的晶粒为 CoB,硼质量分数为8.47%晶粒为CoB.波谱分 析结果与X射线衍射分析结果吻合得很好. 8 。CoB 6 ·Co-B 4 0 20 % 60 形 100 20) 图2YG,刀片试样经1000℃×4h渗睡处理后表面X射 线衍射谱 Fig.2 XRD pattern of YG,insert after boronizing at 1000 ℃x4h 图3YG,刀片不同表面预处理及沉积工艺下得到的金 刚石组织形貌 采用压痕法对渗层与基底附着力进行了测 Fig.3 Surface morphologies of diamond films on YG,in- 试，在1.5kN载荷下，渗层压痕周边无开裂与脱 sert by various pretreatment 落现象，表明渗层与基底附着力良好.这主要是 (a)渗娜：(b)酸漫，沉积工艺参败：沉积温度900℃，甲 由于渗层与基底存在化合键关系而使附着力得 烷3%（形核+15%（生长），沉积气压20kPa,沉积时间 到增强的缘故. 2.0b 22金刚石组织及附着力 将固体粉末渗硼预处理YG,刀片试样金刚 YG,硬质合金刀片试样，经过表面渗硼预 石沉积后附着力采用压痕法进行了评价，并同 处理，能否起到阻挡C0的作用，金刚石薄膜能 酸浸YG,刀片试样在相同条件下沉积的金刚石 否在其上形核与生长，都得看金刚石沉积结果. 薄膜涂层进行了对比.渗硼处理试样在1.5kN YG,硬质合金刀片试样经表面渗硼处理后采用 载荷下压痕周边无发散裂纹，压痕平均直径 直流等离子体喷射CVD法对渗硼样进行了金 209μm,而酸浸处理试样周边产生剥落及开裂， 刚石薄膜沉积实验， 压痕平均直径287m,说明渗硼处理试样附着 图3(a)是YG,硬质合金表面渗硼处理后表 强度优于酸浸试样，这主要是由于：一是渗硼 面沉积的金刚石薄膜组织形貌，并与酸浸试样 处理试样渗硼层有效克服了钴对金刚石沉积 (图3(b)》进行了对比.由图可看出：渗硼试样 时的不利影响，提高了金刚石质量：二是渗硼