2.OTFT原理、制备及表征 986 工艺流程一有源层 ◆P3HT薄膜 氯仿作溶剂，浓度为0.05%，0.2%ww, 超声约5分钟，旋涂40秒（2500rpm） 并五苯 C6H13 C6H13 并五苯薄膜 真空热蒸发法真空度2×103Pa CsH13 C6H13 P3HT 电子科技大学敏席材料与传廊器课程组制作电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 ► P3HT薄膜 氯仿作溶剂，浓度为0.05%，0.2%w/w， 超声约5分钟，旋涂40秒（2500rpm） ► 并五苯薄膜 真空热蒸发法 真空度2×10-3Pa 并五苯 P3HT 2. OTFT原理、制备及表征 工艺流程—有源层