Vol.18 No.5 李晓红等：机械活化Mo-Cu粉末的烧结 ·427· 3结论 (1)机械活化处理的Mo-Cu粉末可产生片层状组织. (2)活化处理的Mo-C山粉末，烧结性能明显得到改善，合金组织均匀细小，硬度提高. (3)M0颗粒以晶粒间聚合和溶解一析出两种方式长大， 参考文献 I Mituo Osada,Yoshinari Amano,Nobuo Ogasa.et al.Substrate for Semiconductor Apparatus Having a Composite Material.U S Patent,5086333.1992-02-04 2夏光辉.MA固相非晶转变：[硕士论文].北京：北京科技大学材料科学与工程系，1993 Sinter of Mechanical Activated Molybdenum-Copper Powder Li Xiaohong Xie Zizhang Yang Rang)Hu Shuwen 1)Department of Materials Science and Engineering,USTB,Beijing 100083,PRC 2)Practice Factory,USTB ABSTRACT The mechanical activation,sintering property and alloy structure of Mo-Cu powder were studied.The experimental results showed that the lamellar structure had been obtained after ball milling,the alloy density sintered to 99%at lower LPS tempera- ture,and the final structure was homogeneous with fine Mo particles. KEY WORDS Mo-Cu alloy,mechanical activation,LPSV o 1 . 1 8 N o . 5 李 晓红等: 机械活化M o 一 C u粉末的烧结 . 4 2 7 . 3 结 论 ( )l 机 械 活化处理 的 M o 一 C u 粉末 可 产生 片层 状组织 . (2 )活 化处理 的 M O 一 c u 粉 末 , 烧 结性 能 明显得到 改善 , 合金 组织均 匀 细小 , 硬度 提高 . ( 3) M o 颗粒 以 晶粒 间聚合 和 溶解 一析 出两种方 式 长大 . 参 考 文 献 1 M i ut o O s a d a , Y o s h i n a r i A m a n o , N o b u o O g a s a , e t a l . S u b s atr t e of r S e m i e o n d u e t o r C o m Po s i t e M a t e r i a l . U 5 P a t e n t , 5 0 8 6 3 3 3 . 1 9 9 2 一 0 2 一 0 4 2 夏光辉 . M A 固 相非晶转变 : 〔硕士 论文〕 . 北京: 北京科技大 学材料科学 与 工程系 , A P Pa r a ut s H a v i n g a 1 9 9 3 S i n t e r o f M e e h a n i c a l A e t i v a t e d M o l y b d e n u m 一 C o PP e r P o w d e r L i ix a o h o n g l ) Xi e izZ h a n g l ) aY n g R a n g l ) 枷 肋 u w e n Z ) l ) D e P a rt m e n t o f M a t e r i a l s S e i e n e e a n d E n g , n e e r i n g , U S T B , B e ij l n g 10 0 0 8 3 , p R C 2 ) P r a c t l e e F a e t o ry , U S T B A B S T R A C T T h e m e e h a n i e a l a e t i v a t i o n , s i n te r i n g P r o P e yrt a n d a ll o y s trU e ut r e o f M o 一 C u P o w d e r w e r e s ut d l e d . T h e e x P e r im e n t a l r e s u l t s s h o w e d t h a t t h e l a m e ll a r s utr e t u r e h a d b e e n o b t a i n e d a ft e r b a ll m illi n g , t h e a ll o y d e n s i yt s i n t e r e d t o 9 9% a t l o w e r L P S t e m P e r a - ut r e , a n d t h e if n a l s trU e t u r e w a s h o m o g e n e o u s w i t h if n e M o P a rt i c l e s . K E Y W O R D S M o 一 C u a ll o y , m e c h a n i c a l a e t i v a t i o n , L P S