第二节自扫描光电二极管阵列 (SSPD) 自扫描分线阵和面阵 电荷存储原理 预充电放电(积分)-充电(信号输出) 放电(积分)-充电(信号输出) AI膜v栅极漏极 Sio2 -Si 光电二极管 图2-6SSPD像 元结构图第二节 自扫描光电二极管阵列 (SSPD)  自扫描,分线阵和 面阵 一、电荷存储原理 预充电—放电（积分）--充电（信号输出） --放电（积分）--充电（信号输出）--