上游充通大兽 SHANGHAI JIAO TONG UNIVERSITY 1. 分辦率高 具有原子级高分辨率，STM在平行于样品表面方向上的分辨率分别可达 0.1nm和0.01nm,即可以分辨出单个原子 横向分辨率可达 103 SEM (S)TEM 0.1nm E55 纵向分辨率可达 103 HM 0.01nm 10 IFIM PCM 101 SPM 10 10 103 105 横向标茂/nm HM:高分辨光学显微镜；PCM:相反差显微镜； (S)TEM:(扫描)透射电子显微镜； FIM:场离子显微镜；REM:反射电子显微镜1. 分辨率高 具有原子级高分辨率，STM 在平行于样品表面方向上的分辨率分别可达 0．I nm 和 0．01 nm，即可以分辨出单个原子． HM：高分辨光学显微镜；PCM：相反差显微镜；(S)TEM：（扫描）透射电子显微镜； FIM：场离子显微镜；REM：反射电子显微镜 横向分辨率可达 0.1nm 纵向分辨率可达 0.01nm