73电子束重熔炉的主要设备 1电子束发生系统; [7 2-真空阀; [8h 3真空系统; 4-聚焦、偏扫系统; 4 5工作室; 106工件 7高压电源; 8-磁透镜电源; 6 9偏转线圈电源; 电子束熔炼设备原理图 10-控制系统 西建大精品课程西建大 精品课程 8 7.3 电子束重熔炉的主要设备 电子束熔炼设备原理图 1-电子束发生系统； 2-真空阀； 3-真空系统； 4-聚焦、偏扫系统； 5-工作室； 6-工件； 7-高压电源； 8-磁透镜电源； 9-偏转线圈电源； 10-控制系统