2.2.1PN结的形成 (2)电形成法 几 金丝(中=0.05mm) 含镓0.3~0.5% 脉冲 (3)平面扩散法 上美金锡锑合金 属支架 ≈10004 N外延层 ⊥(=0.8~19cm N衬底 N k=103Q,cm的硅片 ①衬底研磨抛光 ②外延N层 ③氧化 窗口 电极(铝 2 N 中90μ N N HOM ④光刻窗口 ⑤硼扩散、氧化一 ⑨光刻蒸铝焊电极Ex2.2.1 PN结的形成 （2）电形成法 （3）平面扩散法