4.1.3ICP等离子体发射光谱仪结构原理 2炬管室及其机理 ■炬管室由阻抗匹配器、耦 合线圈和循环冷却水系统 炬管及炬管调节机构、气 路系统等部分组成 炬管是由石英制成的三层 同心管组成 奸管 图42矩管结构图4.1.3 ICP等离子体发射光谱仪结构原理 ２.炬管室及其机理  炬管室由阻抗匹配器、耦 合线圈和循环冷却水系统、 炬管及炬管调节机构、气 路系统等部分组成  炬管是由石英制成的三层 同心管组成