正电子谱学的主要特点： 1.对固体中原子尺度的缺陷研究和微结构变化十 分敏感，是其他手段无法比拟的。 2.对研究材料完全无损伤，可进行生产过程中的 实时测量，能够满足某些特点的测量要求。 3.理论比较完善，可以精确计算很多观测量同实 验进行比较。 ■4.固体内部的信息由光子毫无失真的带出，对样 品要求低，不需特别制备或处理，不受半导体导 电类型和载流子浓度等因素影响。 5.作为电子的反粒子，正电子容易鉴别，又能形 成电子偶素，可以替代电子探针来获得材料中更 多的信息，在许多实验中能够大大降低电子本底。正电子谱学的主要特点： ◼ 1. 对固体中原子尺度的缺陷研究和微结构变化十 分敏感，是其他手段无法比拟的。 ◼ 2. 对研究材料完全无损伤，可进行生产过程中的 实时测量，能够满足某些特点的测量要求。 ◼ 3. 理论比较完善，可以精确计算很多观测量同实 验进行比较。 ◼ 4. 固体内部的信息由光子毫无失真的带出，对样 品要求低，不需特别制备或处理，不受半导体导 电类型和载流子浓度等因素影响。 ◼ 5. 作为电子的反粒子，正电子容易鉴别，又能形 成电子偶素，可以替代电子探针来获得材料中更 多的信息，在许多实验中能够大大降低电子本底