重科技院 CHONGQING UNIE RSTY OF SCIENCE A TEOINOI OGY 10.21法拉第筒检测器 1—离子束;2—入口缝;3—离子抑制极 4—接地缝;5一二次电子抑制极;6—离子 接收器10.2.1 法拉第筒检测器 1—离子束；2—入口缝；3—离子抑制极； 4—接地缝；5—二次电子抑制极；6—离子 接收器