第四章常用传感器和敏感元件 广东工业大学机电工程学院 3.压电式传感器及其等效电路 (1)压电式传感器是在压电晶片两个工作面上镀上金属 膜，实质上是一个的电荷源。 (2)也可以当成电容。 EoSA δ8 金风议 一晶片相对介电常数 石英为4.5F/m,钛酸 钡为1200F/m。 0一真空介电常数 A一工作面面积 δ一晶片厚度广东工业大学机电工程学院 3. 压电式传感器及其等效电路 （1）压电式传感器是在压电晶片两个工作面上镀上金属 膜，实质上是一个的电荷源。 （2）也可以当成电容。  晶片相对介电常数 石英为4.5F/m，钛酸 钡为1200F/m。 0  真空介电常数 A  工作面面积   晶片厚度 第四章 常用传感器和敏感元件 0 A C    