CN104931654A 说 明书 2/3页 气体在流经仿生微结构表面时形成湍流，提高了进入传感器敏感层的气体分子数量，从而 提高了检测的灵敏度。 附图说明 [0014] 图1为本发明实施例的立体示意图。 [0015] 图2为本发明实施例的俯视图。 [0016] 图3为本发明实施例的微面示意图。 [0017] 图4为本发明实施例的微孔示意图。 [0018] 图5为本发明实施例的三棱柱状脊的横街面示意图。 具体实施方式 [0019]实施例1： [0020]请参阅图1、图2、图3、图4和图5所示，为本发明的第一实施例，是由传感器敏感 层基底1、凸起的微面2和三棱柱状脊3组成，其中三棱柱状脊3均匀分布在传感器敏感层 基底1上，凸起的微面2均匀分布在相邻两个三棱柱状脊3之间形成的沟槽上，三棱柱状脊 4的两个侧面上设置有均匀分布的微孔3。 [0021]所述的凸起的微面2的球面半径R的尺寸在1为20μm,圆柱面高度H与球面半径 R的比值H:R为1.0。 [o022]所述的微孔4为圆柱孔，半径r的尺寸在5μm,柱面高度h与半径r的比值h:r为 12。 [0023] 所述的三棱柱状脊3的横截面形状为正三角形，边长a的尺寸在160μm,两个相邻 三棱柱状脊3之间的距离在80μm之间，其纵向的长度和横向排布的个数根据气体传感器 表面积的大小而确定。 [0024]本实施例的工作过程和原理： [0025] 当气流流经本发明表面时，气体传感器表面的仿生微结构可以改变气流状态，使 得气体在仿生微结构表面形成湍流，增加气流的停留时间，提高进入传感器敏感层的气体 分子数量。 [0026] 实施例2： [0027]请参阅图1、图2、图3、图4和图5所示，为本发明的第二实施例，是由传感器敏感 层基底1、凸起的微面2和三棱柱状脊3组成，其中三棱柱状脊3均匀分布在传感器敏感层 基底1上，凸起的微面2均匀分布在相邻两个三棱柱状脊3之间形成的沟槽上，三棱柱状脊 4的两个侧面上设置有均匀分布的微孔3。 [0028]所述的凸起的微面2的球面半径R的尺寸在1为30μm,圆柱面高度H与球面半径 R的比值H:R为2.0。 [0029]所述的微孔4为圆柱孔，半径r的尺寸在8μm,柱面高度h与半径r的比值h:r为 15。 [0030] 所述的三棱柱状脊3的横截面形状为正三角形，边长a的尺寸在160μm,两个相邻 三棱柱状脊3之间的距离在100μm之间，其纵向的长度和横向排布的个数根据气体传感器 表面积的大小而确定